Yarı İletken Optoelektronik Endüstrisi İçin Plazma Enjeksiyon Kalıpları Yüzey İşlem Ekipmanları

Yarı İletken Optoelektronik Sanayi Plazma Enjeksiyon kalıpları yüzey işleme ekipmanları

1. Ürün Tanıtımı

Endüktif kuplaj tipi çalışma prensibini kullanan bu Küçük vakumlu plazma temizleme makinesi, mikrodalga tüp ve parçalarının yalıtımında olağanüstü bir rol oynar.Hassas ürünlerin yüksek temizlikle taşınması için uygundur. Plastik, biyokimyasal malzemeler, PDMS, cam veya metal yarı iletkenler, seramikler, kompozit malzemeler, polimer ve diğer malzemelerle başa çıkabilir, Süper temiz yüzey, sterilizasyon, ıslanabilirliği iyileştirme etkisine sahiptir. değişim, yüzey özelliği değişimi ve malzeme yüzeyindeki bağlama kuvvetinin iyileştirilmesi.

2. Özellikler

• Esas olarak küçük ölçekli üretim ve bilimsel deney için geçerlidir.
• Küçük hacimli, sıkı yapı ve çalıştırması ve bakımı kolaydır.
• Alman çekirdek plazma teknolojisi.
• İthal 316 paslanmaz çelik malzeme;korozyona dayanıklı.
• İthal iğne valfli hassas akış kontrol makinesi.
• İki yönlü proses reaktan gaz kanalı.
• Özelleştirme mevcut.

3. Teknik Parametreler:

4. Ekipman Kompozisyonu:

Plazma temizleme makinesi, reaksiyon odası (vakum odası olarak da bilinir), vakum sistemi, boşaltma sistemi, elektrik kontrol sistemi, giriş akış kontrol sisteminden oluşur.

1. reaksiyon odasıbir vakum odası ve bir plazma reaksiyon alanı olan bir elektrottan oluşur.İşlenecek ürünler reaksiyon odasına yerleştirilir.
2. vakum sistemibir vakum göstergesi, bir vakum pompası ve reaksiyon odasındaki havanın çıkarılmasından ve çalışma sırasında uygun bir vakum derecesinin korunmasından sorumlu bir vakum borusundan oluşur.
3. boşaltma sistemigerekli plazmayı oluşturmak üzere reaksiyon odasındaki reaksiyon gazı iyonlaşmasını harekete geçirmek için reaksiyon odasına sinyal ve enerji sağlar.
4. işlevielektronik kontrol sistemiekipmanın eylem sürecini optimum işlem parametrelerine ve adımlarına göre kontrol etmek ve işlem parametrelerinin kararlılığını korumaktır.
5. Emme akış kontrol sistemiesas olarak akış ölçer ve solenoid valften oluşur, rolü, reaksiyon gazı giriş akışını doğru bir şekilde kontrol etmek ve çalışma sırasında gerekli vakum derecesini korumaktır.

5. Ekipman Çalışması

1) Vakum odası kapısını açın, işlenecek ürünleri vakum odasına koyun ve vakum odası kapağını kapatın;

2) Ana güç anahtarını açın ve dokunmatik ekran üzerinden parametreleri ayarlayın;

3) Ekipman, ayarlanan parametrelere göre (vakum → hava girişi → tahliye → boş) otomatik olarak çalışacaktır.Tedaviden sonra, operatöre deneyin tamamlandığını hatırlatmak için zil çalacaktır;

4) Vakum odası kapı kapağını açın ve işlenmiş öğeleri çıkarın.

6. Plazma Temizleme Prensibi

• Plazmanın Tanıtımı:

Plazma, maddenin bir tür mevcut halidir.Genellikle bir maddenin katı, sıvı ve gaz halleriyle yan yana getirilir ve "maddenin dördüncü hali" olarak adlandırılır.Malzeme yüzey aktivasyonunu, aşındırma, dekontaminasyon ve diğer işlemlerin yanı sıra malzeme sürtünme katsayısı, yapışma ve hidrofilik ve amacın diğer yüzey özelliklerini gerçekleştirmek için plazma yüksek enerjili parçacıkları ve malzeme yüzeyi fiziksel ve kimyasal reaksiyonunu kullanabilir. gelişim.

• Plazmanın Temizleme Etkisi:

İşlenen malzemenin yüzeyi, yüzey düzgünlüğünü iyileştirmek, yeni kimyasal fonksiyonel grup yerleştirmek ve aşındırmayı gerçekleştirmek için plazma ve malzeme yüzeyi teması ve plazma temizleme teknolojisi (düşük sıcaklık plazma özellikleri) kullanılarak reaksiyona sokularak kimyasal ve fiziksel olarak temizlenir.

(1) Malzeme yüzeyi için temizlik ve aktivasyon

(2) Yeni fonksiyonel grup oluştur - Kimyasal etki.

Elektrikle boşaltılan gaza reaktan gaz eklenirse, aktifleştirilmiş malzemenin yüzeyinde karmaşık kimyasal reaksiyonlar meydana gelir.Hidrokarbil, amidojen ve karboksil gibi tümü aktif gruplar olan ve malzeme yüzeyinin aktivitesini önemli ölçüde iyileştirebilecek yeni fonksiyonel gruplar eklenecektir.

(3) Plazma aşındırma.

Plazma aşındırma, seçilen uygun gaz türünden ve katı yüzeydeki maddeden plazma oluşturularak oluşan uçucu gaz halindeki maddenin uzaklaştırılması işlemidir.

Plazma dağlama tekniği aslında bir tür reaktif plazma işlemidir.Reaktif iyonla dağlama olarak da adlandırılan doğrudan plazma, plazmanın doğrudan dağlandığı bir tür formdur.Ana avantajları arasında yüksek aşındırma hızı ve düzgünlük yer alır.Plazmanın teknolojik parametreleri dağlama etkisinde hayati bir rol oynar.

7. Plazma Temizleme İşlemi:

8. Plazma Temizleme Avantajları:

• Geleneksel ıslak temizleme teknolojisinin yerini alır ve yeşildir ve çevre dostudur (VOC içermez).
• Gaz, reaksiyon ortamı olarak işlev görür, bu nedenle işletme maliyeti düşüktür (oksijen).
• Geniş uygulama yelpazesi;tedavi nesnesi ve temel malzemenin ayırt edilmesi gerekmez (malzeme diyagramı).
• Yüksek temizleme verimliliği ve gerçekleştirilmesi kolay otomasyon.
• Kiri temizlerken malzeme yüzey performansını ve yapışma kuvvetini iyileştirin.

9. Plazma Tedavisi Öncesi ve Sonrası Karşılaştırma:

Sıvının katı malzeme yüzeyindeki Temas Açısı, sıvının malzeme yüzeyindeki ıslanabilirliğini ölçmek için önemli bir parametredir. θ<90° ise, katı yüzey hidrofiliktir ve Açı ne kadar küçükse, ıslanabilirlik o kadar iyidir;θ>90° ise, katı yüzey hidrofobiktir.

Dyne değerinin ölçümü baskı, kaplama, laminasyon, kaynak ve diğer uygulamalarda çok yaygındır.Malzeme yüzeyinin kolayca bağlanma yeteneğini yansıtabilir.Genel olarak, dyne değeri ne kadar büyükse, yüzeyin başka bir malzeme ile bağlanma performansı o kadar iyidir.

10. Ortak Uygulamalar:

Polimer malzemelerin yüzey modifikasyonu Yüzey yapıştırma özelliğini geliştirir

Elektronik bileşenlerin oksit kalıntısının çıkarılması, bağ kalitesini iyileştirir ve bağ etkisini artırır.

Cam yüzeyler organik kirleticileri giderir

Metal yüzeylerden yağın çıkarılması

Grafen ve diğer toz temizleme modifikasyonu

PDMSYüzey aktif yapıştırma

11. Kalite Güvencesi ve Satış Sonrası Hizmetler:

1 yıl garanti, Ekipman garanti süresi içinde arızalanırsa, tedarikçi sorun giderilene kadar takip edecek ve ilgilenecek personel ayarlamalıdır.

1) Aksesuarlar ve ekipmanla ilgili bilgiler.

Ekipman teslim edildiğinde, tedarikçi çalıştırma, devreye alma ve bakım ile ilgili, çalıştırma ve bakım kılavuzları da dahil olmak üzere eksiksiz bir teknik belgeler seti sağlayacaktır. Bakım kılavuzu, devre şemasını, gaz devre şemasını ve boru hattı şemasını içermelidir.

2) kurulum

Tesis ekipmanı kurulumuna hazırlanmak için gereken tüm ayrıntıları sağlayın.

3) Eğitim

Kurulum sırasında, normal çalıştırma, onarım ve bakım, tank sorunlarının analizi ve acil durum prosedürleri dahil olmak üzere uzaktan eğitim verilebilir.

4) Ekipmanın kullanıma teslimi ve satış sonrası teknik servis

Tedarikçi, ekipman kurulumu, işletimi ve bakımı ile işletme eğitimi için teknik destek belgelerini sağlayacaktır. Ayrıca, garantinin yürürlük tarihini ve kapsamını ve Satıcının irtibat kişisini gösteren garantinin bir kopyası.